Data di pubblicazione: 10 maggio 2020 Data di aggiornamento: 07 ottobre 2024
Risoluzione di problemi comuni con apparecchiature di produzione di semiconduttori （Pre-processo）
Macchine per la pulizia dei wafer
Processo di pulizia
È necessaria la prevenzione della corrosione dei componenti
È possibile selezionare viti con una resistenza chimica superiore per resistere all'ambiente all'interno delle apparecchiature in cui vengono applicate sostanze chimiche.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Resistenza chimica
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Resistenza chimica |
Resistenza al calore |
Non magnetico |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|---|---|
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Viti in resina |
○ |
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Viti SUS316L |
○ |
○ |
○ |
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Viti Hastelloy ＊1 |
○ |
○ |
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Viti in ceramica |
○ |
○ |
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Vespel ＊2 viti |
○ |
○ |
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Viti con rivestimento in PFA per la testa |
○ |
＊1：Hastelloy è un marchio registrato di Haynes International, Inc.
＊2：VESPEL è un marchio registrato di DuPont.
Vedi qui per ulteriori dettagli sulle viti resistenti agli agenti chimici▶
Apparecchiature di ossidazione/diffusione
Trattamento termico/ossidazione/processo di diffusione
È richiesta resistenza alle alte temperature e ai prodotti chimici
Per ambienti in cui vengono utilizzati vari gas ad alte temperature, selezionare viti con eccellente resistenza al calore e resistenza chimica.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Resistenza al calore Resistenza chimica
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Resistenza al calore |
Resistenza chimica |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|---|
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Viti Inconel ＊1 |
○ |
○ |
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Hastelloy ＊2 viti |
○ |
○ |
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MAT21 ＊3 Viti |
○ |
＊1：Inconel è un marchio registrato di Special Metals Corporation.
＊2：Hastelloy è un marchio registrato di Haynes International, Inc.
＊3：MAT e MAT21 sono marchi registrati di Proterial, Ltd.
Verniciatore/sviluppatore
Processo di formazione del film
È necessaria una maggiore capacità di produzione
Utilizzare un accoppiamento ad alta rigidità per la rotazione ad alta velocità richiesta per la formazione del film di fotoresist sul wafer.
Caratteristiche richieste per i giunti：Elevata rigidità
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Prodotto consigliato |
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|---|---|
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Giunti a disco |
È necessaria la prevenzione della corrosione dei componenti
È possibile selezionare viti con una resistenza chimica superiore per resistere all'ambiente all'interno delle apparecchiature in cui vengono applicate sostanze chimiche.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Resistenza chimica
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Resistenza al calore |
Resistenza chimica |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|---|
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Viti inconel |
○ |
○ |
＊1：Inconel è un marchio registrato di Special Metals Corporation.
Apparecchiature per litografia a semiconduttore
Processo di fotolitografia
È necessaria una maggiore precisione dell'attrezzatura
Anche le piccole viti utilizzate nei giunti consentono di migliorare la precisione dell'esposizione sopprimendo l'influenza della riflessione.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Antiriflesso
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Anti riflesso |
Resistenza chimica |
Prevenzione di grippaggio/sequestro |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|---|---|
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Viti trattate con cromo nero a bassa temperatura |
○ |
○ |
○ |
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Viti nere in acciaio inossidabile |
○ |
Viti antiriflesso Vedi qui per ulteriori dettagli▶
Attrezzatura per incisione
Processo di incisione
È richiesta resistenza alle alte temperature e ai prodotti chimici
Per ambienti in cui vengono utilizzati vari gas e solventi ad alte temperature, selezionare viti con un'eccellente resistenza al calore e resistenza chimica.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Resistenza al calore Resistenza chimica
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Resistenza al calore |
Resistenza chimica |
Vuoto |
Non magnetico |
Molta forza |
leggero |
Prevenire la prevenzione |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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Viti in ceramica |
○ |
○ |
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Viti con tappo di copertura in ceramica |
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○ |
○ |
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Viti Hastelloy ＊1 |
○ |
○ |
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Viti SUS316L |
○ |
○ |
○ |
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Viti in titanio |
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○ |
○ |
○ |
○ |
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Viti temprate in superficie |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy è un marchio registrato di Haynes International, Inc.
Viti resistenti ai prodotti chimici▶
È necessario prevenire danni al motore
Componenti con eccellenti proprietà isolanti sono necessari come contromisura per prevenire l'eccitazione da condensatori variabili sotto vuoto.
Caratteristiche richieste per i giunti：Proprietà isolanti
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Prodotto consigliato |
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|---|---|
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Accoppiamento per condensatore a vuoto variabile |
Apparecchiature per l'impianto ionico
Processo di impianto ionico
È necessario un grado di vuoto migliore
Il grado di vuoto può essere ulteriormente migliorato rimuovendo l'aria intrappolata all'interno del foro della vite.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Vuoto
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Vuoto |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|
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Viti con foro di ventilazione |
○ |
È necessaria una vite che non si incrini alle alte temperature
Abbiamo viti che prevengono il grippaggio dovuto al ciclo termico in ambienti di 1000°C o superiori.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Resistenza al calore
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Resistenza al calore |
Prevenire la prevenzione |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|---|
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Viti temprate in superficie |
○ |
○ |
È necessaria una maggiore precisione dell'attrezzatura
Per i dispositivi di fissaggio devono essere utilizzati componenti non magnetici per impedire la deflessione degli ioni a causa delle proprietà magnetiche della parte.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Non magnetico
Non magnetico |
Resistenza chimica |
Molta forza |
leggero |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|---|---|---|
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Vite in bronzo fosforoso |
○ |
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Vite in titanio |
○ |
○ |
○ |
○ |
Attrezzatura per la deposizione di film/attrezzatura per sputtering
Processo di formazione del film
È necessario prevenire danni al motore
Componenti con eccellenti proprietà isolanti sono necessari come contromisura per prevenire l'eccitazione da condensatori variabili sotto vuoto.
Caratteristiche richieste per i giunti：Proprietà isolanti
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Prodotto consigliato |
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|---|---|
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Giunti per condensatore variabile sotto vuoto |
È richiesta resistenza alle alte temperature e ai prodotti chimici
Per ambienti in cui vengono utilizzati vari gas ad alte temperature, selezionare viti con eccellente resistenza al calore e resistenza chimica.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Resistenza al calore Resistenza chimica
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Resistenza al calore |
Resistenza chimica |
Non magnetico |
Molta forza |
leggero |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|---|---|---|---|
|
Viti in ceramica |
○ |
○ |
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Viti SUS316L |
○ |
○ |
○ |
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Viti in molibdeno |
○ |
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Viti Hastelloy ＊1 |
○ |
○ |
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Viti al nichel |
○ |
○ |
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Inconel ＊2 viti |
○ |
○ |
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Viti in titanio |
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○ |
○ |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy è un marchio registrato di Haynes International, Inc.
＊2：Inconel è un marchio registrato di Special Metals Corporation.
Viti resistenti ai prodotti chimici▶
È necessario un grado di vuoto migliore
Il grado di vuoto può essere ulteriormente migliorato rimuovendo l'aria intrappolata all'interno del foro della vite.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Vuoto
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Vuoto |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|
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Viti con foro di ventilazione |
○ |
Attrezzature per l'ispezione fisica
Processo di ispezione/valutazione
È necessario un grado di vuoto migliore
Il grado di vuoto può essere ulteriormente migliorato rimuovendo l'aria intrappolata all'interno del foro della vite.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Vuoto
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Vuoto |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|
|
Viti con foro di ventilazione |
○ |
È necessaria una maggiore precisione di ispezione
Caratteristiche richieste per viti speciali:Non magnetico
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Non magnetico |
Resistenza al calore |
Resistenza chimica |
Molta forza |
leggero |
Prodotto consigliato |
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|---|---|---|---|---|---|---|
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Viti in resina：PPS |
○ |
○ |
○ |
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Viti in titanio |
○ |
|
○ |
○ |
○ |
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Viti in bronzo fosforoso |
○ |
Vedi qui per ulteriori dettagli sulle viti non magnetiche▶
Sono necessarie contromisure per l'allentamento delle viti e la contaminazione
È disponibile una linea di viti a testa esagonale non magnetiche.
Rispetto alle prese a fessura e alle prese con incasso a croce, la forma del cappuccio con testa a esagono incassato ha meno probabilità di subire camma, rendendola efficace nel prevenire la contaminazione.
L'elevata resistenza del titanio 64 consente inoltre il serraggio a coppie più elevate, rendendolo efficace anche come contromisura per l'allentamento.
La gamma di 64 viti a testa esagonale in titanio e bronzo fosforoso va da M2 in su.
| Immagine |  |
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|---|---|---|---|---|
| Nome parte | Viti a testa esagonale incassata - Lega di titanio ad alta intensità |
Viti a testa esagonale incassata - Bronzo fosforoso |
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| Numero di parte | SNSTG |
SNSP |
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| Materiale | 64 titanio | C5191(Bronzo fosforoso) | ||
| Dimensioni filettatura | M2～M10 | M2～M8 | ||
Apparecchiature per l'ispezione elettrica
Processo di ispezione/valutazione
È necessaria una maggiore precisione dell'attrezzatura
Realizza un guadagno del servomotore ancora maggiore, con conseguente riduzione dei tempi di stabilizzazione.
Caratteristiche richieste per i componenti dell'azionamento:Supporto ad alto guadagno
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Prodotto consigliato |
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|---|---|
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Giunti in gomma ad alto guadagno |
È necessaria un'attrezzatura più compatta
Abbiamo viti di piccolo diametro di M2.6 e meno, incluse S0.6 in su e M1 in su.
Caratteristiche richieste per viti speciali:Risparmio di spazio
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Prodotto consigliato |
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|---|---|
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Vite in miniatura |
