Data di pubblicazione: 06 luglio 2022
N. 4: fascio di elettroni e ioni
Apparecchiature che utilizzano fasci di elettroni e ioni
Esempi tipici di apparecchiature includono
・Apparecchiature per litografia a fascio di elettroni
・Apparecchiature per l'esposizione di fasci di elettroni
・Microscopi elettronici a scansione
・Apparecchiature per l'impianto di ioni
Questi tipi di apparecchiature utilizzano grandi quantità di parti a basso magnetismo per evitare di influenzare i fasci di elettroni o gli ioni.
Inoltre, poiché i fasci di elettroni vengono utilizzati negli ambienti sottovuoto per non entrare in collisione con le molecole sospese nell'aria, molti tipi di apparecchiature includono camere a vuoto.
Per gli ambienti sottovuoto, vedere qui
・Apparecchiature per litografia a fascio di elettroni
・Apparecchiature per l'esposizione di fasci di elettroni
・Microscopi elettronici a scansione
・Apparecchiature per l'impianto di ioni
Questi tipi di apparecchiature utilizzano grandi quantità di parti a basso magnetismo per evitare di influenzare i fasci di elettroni o gli ioni.
Inoltre, poiché i fasci di elettroni vengono utilizzati negli ambienti sottovuoto per non entrare in collisione con le molecole sospese nell'aria, molti tipi di apparecchiature includono camere a vuoto.
Per gli ambienti sottovuoto, vedere qui
NBK offre prodotti non magnetici
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Sono inoltre disponibili strumenti per luoghi in cui la magnetizzazione deve essere evitata.
Materiale | tantalio | C5191 (bronzo di fosforo) | 64 titanio | Titanio puro | Titanio | SUS316L |
---|---|---|---|---|---|---|
Nome parte | Viti a esagono incassato (Tantalio) |
Viti a testa cilindrica con cappuccio esagonale - Bronzo al fosforo | Viti a testa cilindrica a testa esagonale - lega di titanio ad alta intensità | Viti a testa cilindrica a testa esagonale - Titanio | Viti a testa piatta a croce incassata - lega di titanio ad alta intensità | Vite con cappuccio della testa di appoggio con speciale profilo basso - acciaio inossidabile |
Numero di parte | SNSTA | SNSP | SNSTG | SNST | SNFTG | SSHL |
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Sono inoltre disponibili strumenti per luoghi in cui la magnetizzazione deve essere evitata.
Materiale | 64 titanio | CFRTP(Resina termoplastica rinforzata con fibra di carbonio) |
---|---|---|
Nome parte | Chiave esagonale in titanio | Chiave regolabile CFRTP |
Numero di parte | SKHTG | SKMWCP-200 |
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Esempi di soluzioni di problemi per processo di produzione di semiconduttori
Esempi di soluzioni di problemi sono introdotti dal processo di produzione dei semiconduttori.Pre-processo qui
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