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Data di pubblicazione: 06 luglio 2022

N. 4: fascio di elettroni e ioni

Apparecchiature che utilizzano fasci di elettroni e ioni

Esempi tipici di apparecchiature includono
・Apparecchiature per litografia a fascio di elettroni
・Apparecchiature per l'esposizione di fasci di elettroni
・Microscopi elettronici a scansione
・Apparecchiature per l'impianto di ioni


Questi tipi di apparecchiature utilizzano grandi quantità di parti a basso magnetismo per evitare di influenzare i fasci di elettroni o gli ioni.
Inoltre, poiché i fasci di elettroni vengono utilizzati negli ambienti sottovuoto per non entrare in collisione con le molecole sospese nell'aria, molti tipi di apparecchiature includono camere a vuoto.

Per gli ambienti sottovuoto, vedere qui

NBK offre prodotti non magnetici

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Materiale tantalio C5191 (bronzo di fosforo) 64 titanio Titanio puro Titanio SUS316L
Nome parte Viti a esagono incassato
(Tantalio)
Viti a testa cilindrica con cappuccio esagonale - Bronzo al fosforo Viti a testa cilindrica a testa esagonale - lega di titanio ad alta intensità Viti a testa cilindrica a testa esagonale - Titanio Viti a testa piatta a croce incassata - lega di titanio ad alta intensità Vite con cappuccio della testa di appoggio con speciale profilo basso - acciaio inossidabile
Numero di parte SNSTA SNSP SNSTG SNST SNFTG SSHL
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Sono inoltre disponibili strumenti per luoghi in cui la magnetizzazione deve essere evitata.
 
Materiale 64 titanio CFRTP(Resina termoplastica rinforzata con fibra di carbonio)
Nome parte Chiave esagonale in titanio Chiave regolabile CFRTP
Numero di parte SKHTG SKMWCP-200
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Esempi di soluzioni di problemi per processo di produzione di semiconduttori

Esempi di soluzioni di problemi sono introdotti dal processo di produzione dei semiconduttori.
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Numeri arretrati di "The Semiconductor Industry e NBK".

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introduzione al prodotto Camera bianca / vuoto / non magnetico Apparecchiature per la produzione di semiconduttori L'industria dei semiconduttori e NBK Viti speciali