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Data di pubblicazione: 15 giugno 2022 Data di aggiornamento: 19 dicembre 2023

N. 2: Ambienti sottovuoto

La tecnologia del vuoto è spesso utilizzata nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori.
Non è necessario un aspirapolvere per tutte le apparecchiature. Un vuoto sarebbe richiesto principalmente per apparecchiature che utilizzano plasma o un raggio di elettroni.
Una camera a vuoto è una scatola o una stanza che è stata convertita in un ambiente a vuoto utilizzando una pompa a vuoto.

Introduciamo qui esempi in cui le viti per apparecchiature per il vuoto (prodotti speciali) vengono utilizzate in un ambiente sotto vuoto

Perché è necessario un vuoto per le apparecchiature di produzione di semiconduttori?

・Ridurre le impurità e migliorare la qualità della risposta
L'esecuzione di processi come la formazione di film e l'incisione sotto vuoto con poche impurità consente un trattamento di qualità superiore.

・Per abbassare il punto di ebollizione
L'abbassamento del punto di ebollizione consente di trattare i wafer a bassa temperatura.
I wafer sono meno soggetti a deformarsi quando si controllano i cambiamenti di temperatura.
Infine, non è necessario costruire o progettare apparecchiature di produzione per resistere alle alte temperature.

・Per generare plasma
Una pressione più bassa significa anche che l'elettricità applicata può essere inferiore.
Un vuoto consente inoltre di generare plasma in un'ampia varietà di gas.

Tipi di vuoto

In realtà ci sono diversi tipi di aspirapolvere.
・Basso vuoto: da 100 kPa a 100 Pa
・Vuoto medio: da 100 Pa a 0,1 Pa
・Alto vuoto: da 0,1 Pa a 10-⁵ Pa
・Vuoto ultra alto: 10-⁵Pa o meno

NBK dispone di una gamma di prodotti ideali per l'uso in ambienti sottovuoto


Viti di applicazione a vuoto

Sono disponibili viti e rondelle che supportano l'evacuazione del gas intrappolato nella parte inferiore dei fori delle viti o dei fori praticati.

I fori di ventilazione sulle viti NBK per apparecchiature sottovuoto sono realizzati con un metodo che ha scarso effetto sulla struttura metallica.
Possono sopprimere le fratture fragili durante l'uso e la generazione di gas di scarico in ambienti sottovuoto.

< Ampia gamma > Fare clic qui per la nostra gamma completa di viti per apparecchiature per il vuoto
Bassa emissione di gas
Una speciale lucidatura chimica viene utilizzata per migliorare la rugosità della superficie. La quantità di gas in uscita è estremamente bassa.
 
 
Materiale SUSXM7
(SUS304相当)
Titanio
Nome parte Viti a testa con cappuccio con foro di ventilazione Viti a testa cilindrica con foro di ventilazione - Titanio Vite a esagono incassato con profilo ribassato speciale
(Titanio, con foro di ventilazione)
Viti a macchina in titanio a testa piatta con taglio a croce Phillips
(con foro di ventilazione)
Viti a macchina in titanio a testa bombata con taglio a croce Phillips
(con foro di ventilazione)
Viti a testa esagonale in titanio con rondelle prigioniere
Viti a testa esagonale in titanio con rondelle prigioniere
Numero di parte SVSS-PC USC SVSHT SVFT SVPT SNSI1T
SNSI3T
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Vari materiali
È disponibile un'ampia gamma di materiali, tra cui Inconel (equivalente) e Hastelloy (equivalente) altamente resistenti alla corrosione e titanio non magnetico.

 
Materiale SUS304・SUSXM7
(Equivalente a SUS304)
SUS316L
Nome parte Viti a testa con cappuccio con foro di ventilazione Bulloni a testa esagonale
(con foro di ventilazione)
Viti di fermo a esagono incassato
(con foro di ventilazione)
Viti a testa cilindrica con foro di ventilazione - SUS316L Viti a esagono incassato con rondella integrata
Foro di ventilazione - Acciaio inossidabile ad alta resistenza
Vite a esagono incassato con profilo ribassato speciale
(SUS316L, con foro di ventilazione)
Numero di parte SVSS SVHS SVTS SVSL SVSQLG SVSHL

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Materiale Inconel equivalente Molibdeno puro Hastelloy equivalente Alluminio Titanio
Nome parte Viti a esagono incassato (equiv. Inconel) con foro di ventilazione Viti a testa cilindrica con esagono incassato al molibdeno con foro di ventilazione Viti a esagono incassato (Hastelloy C-22 equiv.) con foro di ventilazione Viti a esagono incassato (equiv. Hastelloy C-276) con foro di ventilazione Viti a esagono incassato in alluminio con foro di ventilazione Viti a testa cilindrica con foro di ventilazione - Titanio
Numero di parte SVSI SVSM SVSH-C22 SVSH-C276 SVSA USC
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Varie forme
È disponibile un'ampia gamma di forme, come viti a testa cilindrica a basso profilo, prodotti con rondella integrata e viti di bloccaggio.
   
Esempio di forma Viti a basso profilo Viti con profilo speciale basso Pali esagonali Viti di fissaggio Con Rondella rondelle
Nome parte Viti a testa cilindrica con foro di ventilazione con basso profilo Viti a testa cilindrica con foro di ventilazione con basso profilo speciale Messaggi Hex con foro di ventilazione Viti di fissaggio con foro di ventilazione Viti a testa cilindrica con esagono incassato con rondella integrata con foro di ventilazione - Acciaio inossidabile ad alta resistenza Rondelle con scanalature di ventilazione
Numero di parte SVLS SVSHS SHVAS SCSS-VR SVSQLG SWAS-VF
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Prevenzione delle convulsioni
I nostri prodotti sono ideali per prevenire il grippaggio.

 
Materiale SUS316L SUSXM7 (equivalente a SUS304) SUSXM7 (equivalente a SUS304)
Nome parte Viti a testa cilindrica con foro di ventilazione
(con foro di ventilazione/trattamento di indurimento superficiale)
Viti a esagono incassato con foro di ventilazione - MoS2 Shot Vite a esagono incassato con foro di ventilazione / argentatura
Numero di parte SVSL-PN SVSS-MOS SVSS-AG

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Prodotti a basso consumo di gas

Oltre alle viti per apparecchiature per il vuoto, abbiamo anche una gamma di viti e giunti a bassa emissione di gas.
Viti
 
Numero di parte SPD-C SPDC-H SPE-C
Materiale VESPEL® SP-1 VESPEL® SCP-5000 SBIRCIARE
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Accoppiamento

Sono disponibili degli accoppiamenti che possono essere utilizzati in ambienti particolari come camera pulita, vuoto, alta temperatura (80 ° C o superiore).

Tipo Accoppiamento a fessura Accoppiamento Oldham Accoppiamento del disco
Forma (SUS316L) - Foto di un pezzo di carta da parati (SUS316L) (SUS316L) - Foto di un pezzo di carta da parati (SUS316L) ク リ ー ン · 真空 · 耐熱 対 応 カ カ カ リ グ グ </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> 応 応 応 応 応 </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> 応 応 応 応 応 応 応 </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> 応 応 応 応 応 応 </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> </s> (ベ ス ペ ル) - ク ラ ン ピ ン グ タ イ プ (ベ ス ペ ル) - ク ラ ン タ イ プ (PEEK) - ク ラ ン ピ ン グ タ イ プ (PEEK) - ク リ ー ン フ レ キ シ ブ ル カ ッ プ リ ン グ - デ ィ ス ク タ イ プ - ク ラ ン ピ ン グ タ イ プ フ レ キ シ ブ ル カ ッ プ リ ン グ - シ ン グ ル デ ィ ス ク タ イ プ - ク ラ ン ピ ン グ タ イ プ
Numero di parte XSTS XWSS MSXP MOHS MOCIO XBWS* XBSS*
Materiale SUS316L SUS316L SBIRCIARE SUS303
Vespel **
SUSXM7
A2017
SBIRCIARE
SUSXM7
SUS303
SUSXM7
SUS303
SUSXM7
Metodo di pulizia Pulizia ad ultrasuoni Pulizia ad ultrasuoni Pulizia ad ultrasuoni Pulizia ad ultrasuoni Pulizia ad ultrasuoni Pulizia ad ultrasuoni * Pulizia ad ultrasuoni *
Particella bassa
Sottovuoto supportato
Meno outgas
Resistente al calore
Resistente ai prodotti chimici
Zero Backlash    
Alta coppia      
Elevata rigidità torsionale          
Disallineamento consentito  

:Eccellente ○:Molto buono △:Potrebbe essere prodotta polvere di abrasione
XBWS XBSS sono prodotti non puliti. Lavaggio pulito e imballaggio pulito sono disponibili su richiesta.
**VESPEL è un marchio registrato della società statunitense DuPont.

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Camera bianca "Servizio di lavaggio / imballaggio in camera bianca"

Il lavaggio e l'imballaggio in camera bianca possono essere eseguiti in modo che gli articoli possano essere utilizzati direttamente in una camera a vuoto o in una camera bianca.

Esempi di soluzioni di problemi per processo di produzione di semiconduttori

Esempi di soluzioni di problemi sono introdotti dal processo di produzione dei semiconduttori.
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Numeri arretrati di "The Semiconductor Industry e NBK".

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introduzione al prodotto Miglioramento della produttività / lavorabilità Misure di sicurezza / misure precauzionali Macchine utensili Apparecchiature per la produzione di semiconduttori Macchinari alimentari Processo di produzione automobilistica Attrezzature mediche Dispositivi FA L'industria dei semiconduttori e NBK Viti speciali Elementi della macchina