Data di pubblicazione: 26 ottobre 2022 Data di aggiornamento: 30 luglio 2024
N. 6: Ciclismo termico
Cos'è il ciclo termico?
A seconda dell'apparecchiatura specifica, l'interno dell'apparecchiatura per la produzione di semiconduttori può raggiungere temperature elevate da 500° a 1000°.
Esempi sono i generatori di ioni nelle apparecchiature di impiantazione ionica, le sorgenti luminose nelle apparecchiature di litografia, ecc.
Inoltre, le apparecchiature di rivestimento e incisione possono anche raggiungere temperature da 200° a 400° durante la lavorazione dei wafer.
I ripetuti cambiamenti di temperatura in apparecchiature di questo tipo sono chiamati cicli termici.
Esempi sono i generatori di ioni nelle apparecchiature di impiantazione ionica, le sorgenti luminose nelle apparecchiature di litografia, ecc.
Inoltre, le apparecchiature di rivestimento e incisione possono anche raggiungere temperature da 200° a 400° durante la lavorazione dei wafer.
I ripetuti cambiamenti di temperatura in apparecchiature di questo tipo sono chiamati cicli termici.
NBK offre viti che possono essere utilizzate per gestire ambienti ad alta temperatura e cicli termici.
<Ambienti ad alta temperatura>Sono disponibili viti resistenti ad ambienti ad alta temperatura.
I materiali in tungsteno e molibdeno puro vantano punti di fusione elevati (3683°C per il tungsteno, 2623°C per il molibdeno puro).
Contatta il nostro servizio clienti per altri materiali.
Materiale | Tungsteno | tantalio | Inconel | Puro Molibdeno | Carburo di silicio (SiC) | Al2O3(99,5%Allumina) | VESPEL SP-1 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Nome parte | Viti a testa cilindrica con intaglio (tungsteno) | Viti a esagono incassato (Tantalio) | Vite a esagono incassato -Inconel equiv | Viti a testa cilindrica a testa esagonale - molibdeno | Viti a testa bombata con intaglio (carburo di silicio) | Bulloni a testa esagonale in ceramica | Viti in plastica - Viti a testa cappellina - VESPEL (Grado: SP-1) |
Numero di parte | SNCW | SNSTA | SNSI | SNSM | SICX-SX | SCX-C | SPD-C |
Clicca qui per la scaletta |
<Ambienti ad alta temperatura + vuoto>
I fori di degasaggio per le apparecchiature sottovuoto sono realizzati su materiali resistenti al calore.
Materiale | Inconel | Puro Molibdeno |
---|---|---|
Nome parte | Viti a esagono incassato (equiv. Inconel) | Viti a testa cilindrica con esagono incassato al molibdeno con foro di ventilazione |
Numero di parte | SVSI | SVSM |
<Prevenzione del grippaggio>
Sono disponibili viti resistenti all'usura e al grippaggio in ambienti soggetti a cicli termici.
Materiale | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (equivalente a SUS304) | SUSXM7 (equivalente a SUS304) | SUSXM7 (equivalente a SUS304) | SUSXM7 (equivalente a SUS304) | SUSXM7 (equivalente a SUS304) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Nome parte | Viti a testa cilindrica a snodo - SUS316L / Trattamento superficiale | Viti a testa cilindrica con foro di ventilazione e trattamento di indurimento a foro / superficie | Viti a testa cilindrica con esagono incassato - rivestimento MoS2 | Viti a testa cilindrica a brugola esagonale - Cromo nero a bassa temperatura | Viti a esagono incassato - Rivestimento in PTFE | Viti a testa cilindrica con cappuccio esagonale - rivestimento in oro | Viti a testa cilindrica a snodo - Rivestimento di fluoro |
Numero di parte | SNSL-PN | SVSL-PN | SNSS-MO | SNSS-RY | SNSS-TF | SNSS-AUS | SNSS-FC |
Clicca qui per la scaletta |
<Prevenzione dell'allentamento>
Sono disponibili viti a rondella integrate. Le rondelle elastiche vengono utilizzate per assorbire l'espansione termica e aiutare a prevenire l'allentamento.
Materiale | SUSXM7 (equivalente a SUS304) | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (equivalente a SUS304) | SUSXM7 (equivalente a SUS304) |
---|---|---|---|---|---|
Nome parte | Viti a testa cappellina a testa esagonale con rondella e foro di ventilazione | Viti a testa cilindrica con esagono incassato con rondella integrata con foro di ventilazione - Acciaio inossidabile ad alta resistenza | Viti a testa cilindrica con esagono incassato integrate con rondella - Acciaio inossidabile ad alta resistenza | Viti a testa cilindrica con esagono incassato con rondelle prigioniere(I=3) | Viti a testa cilindrica con taglio a croce Phillips con rondelle prigioniere(I=3) |
Numero di parte | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | SNSQS | SNPI3S |
Clicca qui per la scaletta |
Materiale | TW340 (Titanio grado 2) | Equivalente a SUS304 | Equivalente a SUS304 |
---|---|---|---|
Nome parte | Viti a testa cilindrica con esagono incassato in titanio con rondelle prigioniere (I=3) | Viti a testa esagonale con rondella prigioniera (P=2) | Viti a testa esagonale con rondella prigioniera (P=3) |
Numero di parte | SNSI3T | SNHP2S | SNHP3S |
Clicca qui per la formazione |
Esempi di soluzioni di problemi per processo di produzione di semiconduttori
Esempi di soluzioni di problemi sono introdotti dal processo di produzione dei semiconduttori.Pre-processo qui
Post-processo qui
Numeri arretrati di "The Semiconductor Industry e NBK".
Elenca qui
introduzione al prodotto
Problema / casi di studio
Miglioramento della produttività / lavorabilità
Compact / salvaspazio / leggero
Alta resistenza / alta rigidità
Resistenza al calore / resistenza alla corrosione
Camera bianca / vuoto / non magnetico
Apparecchiature per la produzione di semiconduttori
L'industria dei semiconduttori e NBK
giunti
Viti speciali
Elementi della macchina