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Data di pubblicazione: 17 giugno 2022 Data di aggiornamento: 7 ottobre 2024

N. 3: Gas di processo e detergente per wafer

I gas di processo (un tipo speciale di gas) e i detergenti (per rimuovere le impurità) sono spesso utilizzati nei processi di produzione dei semiconduttori.

I nostri dati di prova sul carburo di silicio (SiC) sono disponibili gratuitamente per quanto riguarda questi liquidi chimici altamente corrosivi.


Cosa sono i gas di processo?

Gas inerti e gas speciali (denominati collettivamente "gas di processo") sono spesso utilizzati nei processi di produzione di semiconduttori, compresi i processi di formazione del film e di incisione.
Alcuni gas possono anche corrodere i materiali in acciaio inossidabile come il SUS304.

＜Esempi di gas di processo＞
Monosilano Tetracloruro di silicio tetrafluoruro di silicio CFC-116 Pentafluoruro di fosforo
Arsino Disilano CFC-218 CFC-32 Esafluoruro di tungsteno
fosfina Trifluoruro di boro Bromuro di idrogeno Ossido nitroso CFC-22
Diborano Tricloruro di boro Cloro Triclorosilano CFC-123
Germano Cloruro di idrogeno Trifluoruro di cloro Tetracloruro di titanio  
Diclorosilano Ammoniaca CFC-14 Fluoruro di idrogeno  
Seleniuro di idrogeno Trifluoruro di azoto CFC-23 Trifluoruro di fosforo  

Cosa sono i detergenti per wafer?

Esistono anche processi in cui vengono utilizzati detergenti speciali per pulire lo sporco e le piccole impurità dai wafer.
Detergenti come SPM (soluzione acquosa di perossido di idrogeno di acido solforico) e FPM (soluzione acquosa di perossido di idrogeno di acido fluoridrico) possono anche dissolvere l'acciaio inossidabile e altri metalli.

＜Esempi di detergenti＞
SC-1 (soluzione acquosa di perossido di idrogeno di ammoniaca)
SC-2 (soluzione acquosa di acqua ossigenata di acido cloridrico)
SPM (soluzione acquosa di perossido di idrogeno di acido solforico)
FPM (soluzione acquosa di perossido di idrogeno di acido fluoridrico)
BHF (soluzione tamponata di acido fluoridrico)

NBK offre viti resistenti agli agenti chimici con un'eccellente resistenza alla corrosione.

Possono essere utilizzati anche in ambienti in cui possono essere esposti a gas di processo o agenti di pulizia dei wafer.
Vedi qui per la nostra gamma completa di viti resistenti agli agenti chimici
*La resistenza chimica cambia con le condizioni di utilizzo. Eseguire sempre in anticipo i test in condizioni di prestazione simili alle condizioni effettive.

Viti resistenti agli agenti chimici

Metallico
 
Materiale tantalio MAT21 ＊1 Hastelloy ＊2 C-22 HastelloyC ＊2 -276 Inconel ＊3 Nichel
Nome parte Viti a esagono incassato (Tantalio) Viti a testa cilindrica con esagono incassato (MAT21 ＊1 ) Vite a testa cilindrica con esagono incassato - Hastelloy ＊2 C-22 equiv. Vite a testa cilindrica con esagono incassato - Hastelloy ＊2 C-276 equiv. Vite a testa cilindrica con esagono incassato - Inconel ＊3 equiv. Viti a testa cilindrica a testa esagonale - Nichel
Numero di parte SNSTA SNSMT SNSH-C22 SNSH-C276 SNSI SNSN
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＊1：MAT e MAT21 sono marchi registrati di Proterial, Ltd.
＊2：Hastelloy è un marchio registrato di Haynes International, Inc.
＊3：Inconel è un marchio registrato di Special Metals Corporation.


 
Materiale SUS316L SUS310S Titanio
Nome parte Viti a testa cilindrica - SUS316L Viti a testa cilindrica - SUS310S Viti a testa cilindrica a testa esagonale - lega di titanio ad alta intensità
Numero di parte SNSL SNSJ SNSTG
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Ceramica/resina
 
Materiale Carburo di silicio (SiC) Al2O3（99,5％Allumina） PEEK GF30 SBIRCIARE PTFE PFA (perfluoroalcossi alcano)
Nome parte Viti a testa bombata con intaglio (carburo di silicio) Bulloni a testa esagonale in ceramica Viti in plastica - Viti a esagono incassato - PEEK GF30 Viti in plastica - Viti a testa cilindrica incrociate - PEEK Vite in plastica - Viti a testa esagonale - PTFE Viti in plastica - Viti a testa esagonale - PFA
Numero di parte SICX-SX SCX-C SPEG-C SPE-P SPT-H SPFA-H
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I nostri dati sui test di resistenza chimica al carburo di silicio (SiC) sono disponibili gratuitamente.


Forma speciale
 
Materiale Al2O3（99,5％Allumina） PTFE (politetrafluoroetilene) SUSXM7 (equivalente a SUS304) SUSXM7（Equivalente a SUS304）Rivestimento in PTFE (solo testa)
Nome parte Copri di copertura Tappi di copertura - PTFE Viti per cappuccio per coperchio Viti a testa esagonale - Rivestimento in PFA per la testa
Numero di parte SCAP-CE SCAP-PT SNCPS SNHS-HTF
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*Utilizzare in combinazione con cappucci di copertura (SCAP-CE o SCAP-PT) e viti a brugola per cappucci di copertura (SNCPS).

Esempi di soluzioni di problemi per processo di produzione di semiconduttori

Esempi di soluzioni di problemi sono introdotti dal processo di produzione dei semiconduttori.
Pre-processo qui
Post-processo qui

introduzione al prodotto Glossario Resistenza al calore / resistenza alla corrosione Camera bianca / vuoto / non magnetico Apparecchiature per la produzione di semiconduttori L'industria dei semiconduttori e NBK Viti speciali